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光电所大角度衍射光学元件批量化制备方法取得进展-LOL下注网

发布时间:2020-11-15    来源:LOL滚球52644

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LOL滚球-中国科学院光电技术研究所微电子设备综合实验室微光学组在大角度散射光学元件批量制造方法研究方面取得新进展:明确提出了基于低成本纳米压印技术批量制造大角度散射光学元件的新方法。由于纳米压印模板可以多次重复使用,降低了平均成本,因此有必要构建从微米到纳米尺度兼容、低成本、批量生产的散射光学元件。该结果发表在最近的《光子学报》上。散射光学元件因其体积小、设计灵活、散射效率高而被广泛应用于光学传感、光通信、光计算、医学、数据存储、消费娱乐等领域。

目前,在一些前沿研究领域,如激光雷达中的广角三维地形观测和三维测量,迫切需要大角度(小于50)的散射光学元件。现有的加工散射光学元件的技术很多,但由于成本高、加工周期长,很难实现批量生产。

因此,研究散射光学元件的低成本批量制造方法具有重要意义。本研究将纳米压印技术应用于散射元件的加工。压印母版可以在不损坏的前提下无限重复使用,即一个压印模板可以在短时间内压出多个散射元件,大大降低了制造成本,提高了生产效率。

基于纳米压印技术高精度、高分辨率、低成本、低产量的优势,以及改进的脱模、防粘和对准压印技术,构建了高保真、低成本、大角度、高纵横比散射光学元件批量生产的目的。这项工作遭到了中国国家自然科学基金的反对。。

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